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物理撞擊英文
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蝕刻
反應離子蝕刻(RIE,如上述) 目標是要最佳化物理性和化學性蝕刻之間的平衡,使物理性撞擊(蝕刻率) 強度足以移除必要的材料,而同時適當的化學反應能產生易於排出的揮發 ...
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