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CN103412272B - 用于确定校正汞探针电阻率量测仪的标准片 ...

四探针电阻率测试仪，简称4PP、或4PP机台；是另一种应用较为普遍的外延电阻率量测仪，其要求所测试的外延层掺杂与基板掺杂形态相反，即N/P或P/N型结构外延片，其量测原理是 ...

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