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四點探針(4-point Probe) - 陽明交通大學奈米中心

功能:測試半導體層、雜質擴散層或離子佈植層的電阻值6吋. 5.重要規格:量測範圍從 1mili-ohm/square 到 5 x 10 8 ohm/square (sheet resistance); 或電阻率從1 ...

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