點探針法測得片電阻值(Rs)再與厚度(t)相乘得知。薄膜TCR值,使用電阻量測治具,量測時固定探針壓力以及量測. 位置,先量測室溫九個位置電阻值後,使用恆溫恆濕機升溫至125℃ ...
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