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片電阻量測
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四點探針 - 國立中興大學-光電半導體製程中心
可量薄膜的電阻係數及片電阻值. 2. 利用外側兩探針間加固定電流,並同時量測另外兩個內探針間之相對電壓. 計算其電性. 收費標準. 注意事項.
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