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片電阻量測
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Resistivity Measurement_百度文库
反過來說,固定薄膜厚度,我們也可藉由片電阻來判斷不同薄膜製程條件對電阻係數的影響。片電阻量測也常用來檢測整片半導體晶片上的擴散層或離子佈植層的均勻性,如圖6 所示 ...
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