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TWI506702B - 爐管製程的派工控制方法

在積體電路製程當中，許多步驟都必須在高溫環境下進行，例如成長氧化層的熱氧化製程等。上述的熱處理方法，一般都是將晶圓置於晶舟(wafer boat)而送進爐管反應。

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