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技鼎展出快速升降溫製程設備

目前已成功開發出一系列簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動2至12吋晶圓快速升降溫設備，與傳統爐管設備相較，可大幅減少熱預算與縮短製程時間， ...

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