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盛美半導體大舉拓展立式爐產品組合迅速導入超高溫熱製程產線

盛美半導體設備可靈活配置的爐管製程系統拓展了非摻雜和摻雜多晶矽LPCVD、高溫氧化和退火功能；公司已收到多台立式爐設備訂單 ...

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