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LPCVD爐管中晶圓溫度分佈之模式建立__長庚大學機構典藏系統

13. 王國彬；2008；利用回饋繼電器調諧田納西伊士曼製程之串級控制系統. 14. 丁逸文；2010；LCD面板中自動回饋調控液晶量 ...

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