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電機與電子工程系碩士班碩士論文爐管氮化矽均勻度改善之研究 ...

矽晶. 圓在爐內高溫環境下，晶圓表面會與通入爐管中之氧氣作用而形成二氧. 化矽膜(SiO )，如圖2-3 所示。 圖2-3 氧化製程圖. 氧化(場氧化層). 光阻旋塗.

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