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爐管

針對爐管機臺用電深入剖析，挖掘改善機會傳統的高溫製程中，皆會利用晶片載具下端的加熱裝置來避免反應爐熱散失，但當高溫製程結束，冷卻系統將晶片降至室溫送出機臺，爐管 ...

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