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台積公司成功開發高溫爐管製程節能最佳化控制程式 - TSMC ESG

針對爐管機台用電深入剖析，挖掘改善機會. 傳統的高溫製程中，皆會利用晶片載具下端的加熱裝置來避免反應爐熱散失，但當高溫製程結束 ...

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