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半導體爐管製程中微粒與缺陷之探討__臺灣博碩士論文知識加值 ...

因此每道製程之良率都非常的重要，在積體電路中的氧化、擴散、沉積、退火及合金等許多步驟均涉及爐管製程。本研究係針對爐管製程中微粒和缺陷所造成產品良率損失和報廢 ...

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