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Unit Process–Diffusion(扩散) - 半导体问答网-文章

今天的主题是扩散(diffusion)，也有说炉管的，因为这个process都是要用到炉 ... 5）氯(Cholorine)：含氯氧化，当然加快氧化速率，原理和湿氧差不多， ...

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