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110 學年度科學園區人才培育補助計畫企業實習心得報告

爐管 結構、原理與操作. ˙氧化反應. 乾氧化(Si + O2 → SiO2) : 氧氣擴散穿過原有的二氧化矽層與矽反應，反應. 時會消耗掉約45%的矽變成SiO2。

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