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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

Hydrophobic. Color resist. L. Ink-jet Printing 之基本工作原理 ... 擴散製程一般都是在爐管中進行，在高溫的爐管中放入晶圓，使. 擴散源得以擴散進入晶圓內部。

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