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爐管原理
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JTEKT Thermo Systems直立式爐管的特殊頁面
直立式爐管用於在半導體裝置製造過程中處理晶圓,包括成膜、退火和樹脂膜硬化。這些批量處理爐具有垂直排列的石英管,可加熱放置在管子周圍的物體以進行加工。
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