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工學院半導體材料與製程設備學程

清洗時，會與水反應生成明礬物質，進而腐蝕鋁金屬。 濕式清洗改善方法：減少HDA 清洗時間，可以減少明礬膠狀物. 生成，並減少側向蝕刻發生。減少IPA 清洗時間，會產生 ...

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