結合CMOS 標準製程製. 作感測元和線路,再配合MEMS特殊製程技術. 製作V-groove、浮板等結構物,形成一微感測. 的元件。近來對於二維紅外線影像技術的發展,. 由於微機電技術的 ...
確定! 回上一頁