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一种与CMOS 工艺兼容的热电堆红外探测器

结构,如图3 所示.其原理为,顶层的吸收材料受到. 外界的红外辐射,由于其对红外光具有较高的吸收率. 和较低的反射率,使得吸收层的温度增加.热电堆的.

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