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MEMS热电堆传感器的红外探测系统 - 搜狐

1 热电堆红外探测器工作原理. 热电堆探测器是一种可以对外界红外辐射产生响应的传感器，近10年来，由于微细加工技术的发展进步，MEMS热电堆红外传感器 ...

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