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微奈米技術應用專題 - 台灣儀器科技研究中心

... 實驗室在白金與銀的ALD 製程之觀察與心得。最後，本文將介紹ALD 技術在奈米表面電漿子(nanoplasmonics) 上之應用。 結合奈米碳管之熱電式微型發電器 [ 下載PDF ].

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