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水平式晶圓快速熱處理爐之暫態熱流分析 - 國家圖書館

快速熱處理過程(Rapid Thermal Processing, RTP)在半導體製造技術中，是一種新的加熱技術，可應用於半導體製程中需要大量快速加熱的製程，例如：熱氧化過程、化學氣相 ...

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