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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

... 加熱器、試片治具、微測試結構、電源供應器及影像分析系統(含CCD 及影像處理軟體)，即可進行薄厚膜材料之殘留應力、熱膨脹係數、楊氏係數及熱傳導係數的即時量測， ...

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