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應用紅外線熱影像儀於製程機台電氣設備之預知保養研究

TFT-LCD 廠製程設備之電氣設施為對象，以紅外線熱影像儀對ARRAY、CELL、MDL 各製程 ... 測量原理. 優點. 缺點. 紅外線. 點溫計. 接收物體因. 原子、分子. 運動所發射.

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