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薄膜熱傳導性質量測及其應用之研究

關鍵詞：薄膜、熱傳導性質、界面熱阻、3 omaga 法、硫屬金屬材料。 ... 過待測薄膜而完全傳遞至矽基板上。經由求解暫態二維熱傳導方程式之後，溫度. 值可被表示成 dk q.

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