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二氧化矽薄膜之熱傳導係數與邊界熱阻之量測研究

適合此種薄膜特性之量測實驗架構，將薄膜材料之熱傳導係數值求取出來。本文將介紹3w ... 入真空腔體，透過鎖相放大器提供定電流，並利用 k.

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