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熱傳導係數意義
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薄膜熱傳導性質量測及其應用之研究
薄膜熱傳導係數對於微結構而言,為一獨具指標性意義的熱物理參數。由於. 微奈米尺度之薄膜的熱物理性質與塊材(Bulk)不同,除了其緻密性之差異外,.
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