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二氧化矽薄膜之熱傳導係數與邊界熱阻之量測研究

適合此種薄膜特性之量測實驗架構，將薄膜材料之熱傳導係數值求取出來。本文將介紹3w. 量測方法，並針對兩種不同製程下 ... 產生變化，變化量大小取決於材料的TCR 值(9).

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