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高功率微波源与技术 - 第 87 頁 - Google 圖書結果

另外,所有的 O 形密封圈采用铜垫圈来替代,微波管的真空系统采用无油前级真空泵与低温泵实现。采用这些方法并主动清洁与烘烤,可以使 HPM 源内部的环境接近商用 MVE 器件 ...

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