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半導體廠房空間之研究 以廠務設施為例 - 中華大學

無塵室 與各鄰接區域間應有1 小時防火區. 劃。 國外NFPA318. （National Fire. Protection. Association）美國. 防火協會. 耐震. 無塵室高架地板之抗震設計，須承受規模.

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