微系統製造與實驗─ 無塵室簡介21. NKFUST. MEMS Lab. 41. 奈米實驗室使用氣體簡稱對照表. 化學式. 中文名稱. 易燃. 非易燃. 窒息. 毒性. 氧化性. 腐蝕性. H2. 氫氣. ◎.
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