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無塵室結構
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電子廠無塵室(Clean Room)空調系統壓差控制節能案例
該廠無塵室之空調系統,採用濾網風車機組(FFU)系統,配合外氣空調箱(MAU)補充外氣,以控制無塵室整體之正壓值;同時採用乾盤管系統,用來冷卻加工設備等 ...
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