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半導體廠房無塵室煙控系統設計

於無塵室上方有廣大的區域（SAC 區）可用來蓄煙，以及FFU 濾網 ... 術手冊計算人員於無塵室火場中所需的避難時間進行比較，探討各計 ... 換氣次數（次/hr）.

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