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風扇過濾機組運轉參數對於無塵室烤箱製程空間熱、流場之影響 ...

[10]魏嘉言，計算流力程式在無塵室空氣流場分析之應用，碩士論文，國立清華大學 ... 度等級 10 2.4無塵室等級與換氣次數及FFU覆蓋率 11 2.5無塵室氣流型式 12 2.5.1.

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