英文 名稱. OAI-500. 儀器經費來源. 購入日期. 2002-12-31. 儀器位置. 黃光室. 儀器狀態 ... 軟烤:或稱曝光前烘烤,主要用來將光阻殘留溶劑去除,增加光阻對晶片之附著力。亦 ...
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