濾、風速1.5m/s、3.5cfu/m3(1cfu/10ft3)鄰進區域壓差12.5Pa(0.05inWg)及控制區域(Class100 ... 間及天花板,空調引入新鮮空氣,增加變頻排風機及袋進袋出型濾網箱。
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