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第一章序論 - 國立交通大學機構典藏

其中蝕刻製程如何精確地將光阻上的圖形轉移到晶. 片上一直是業界相當重視的課題。 早期蝕刻都是採用濕式蝕刻（wet etch）。優點是製程較為簡單、. 蝕刻速率快，缺點是圖形 ...

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