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半導體製程技術 - 聯合大學

測量在蝕刻製程中物質倍從晶圓移除的速率有多快. ... 基本濕式蝕刻製程步驟. 旋乾. 濕蝕刻. 超純水洗滌 ... 廣泛的使用再剝除蝕刻製程，像是氮化物剝除和鈦化物剝.

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