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濕蝕刻製程
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題目:單晶矽太陽能電池表面粗糙化結構和抗反射層薄膜製程及 ...
時間下會有不同的蝕刻速率等製程參數進行研究,並成功製作出面. 積為20 X 20μm的金字塔結構,另外在基 ... 濕蝕刻是將晶片浸沒於適當的化學溶液中,或將化學溶液噴灑至.
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