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濕蝕刻製程
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【蚀刻升级篇】剖析干蚀刻和湿蚀刻的作用、制程及其原理
蚀刻 分为干蚀刻与湿蚀刻,其区别如下:. 干蚀刻:利用不易被物理、化学作用破坏的物质光阻来阻挡不欲去除的部分,利用电浆的离子轰击 ...
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