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選擇比研究與SC1溶液對氮化鈦溼蝕刻速率研究

而Al2O3與SixNy在室溫下幾乎不被SC1溶液濕蝕刻，也避免了SC1溶液損害Al2O3氧化層 ... 論文中除了詳細描述蝕刻過程外，也介紹了各成長系統原理及電漿物理、蝕刻反應。

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