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台積電製程綠色行動目標119年節水2800萬噸省電11億度 - 聯合報

台積電今日發布企業社會責任電子報告書，公布攜手供應商開發晶圓傳送盒清洗機台節水控制系統，並進一步透過「機台參數設定優化」...

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