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濕式蝕刻機
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乾式蝕刻機 - TYQQ
蝕刻 分為干蝕刻與濕蝕刻,隨機臺設備使用標準微影技術及乾式蝕刻來蝕刻部份的P-type GaN層,例如: 三氧化二鋁,以達到產生所需圖案之技術。一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式 ...
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