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濕式蝕刻機
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什麼是蝕刻(Etching)?
較先進的半導體廠中仍普遍使用溼式蝕刻來剝除薄膜和檢視介電質薄膜的品質。 ... 在濕蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的,而乾蝕刻 ...
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