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濕式蝕刻機
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乾式蝕刻機– 半導體蝕刻設備– Remont
半導體製程中有兩種基本的蝕刻工藝,濕式與乾式,乾式則為全球主流技術。, 而蝕刻機主要生產大廠為Lam、AMAT 及東京電子。, 至於薄膜設備氣相 ...
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