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濕式蝕刻機
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感應耦合電漿蝕刻
设备产品 ; 配置和優點, 選件 ; 客製化的基板尺寸,最大直徑可達12寸晶圓。 優異的薄膜均勻度小於±3%。 具有高均勻度氣體分佈的質量流量控制器。 穩定的溫度控制,將載盤 ...
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