一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻,然後在光刻時將電路圖案曝光在晶圓上。 蝕刻只移除壓印圖案上的材料。 第四章乾式蝕刻設備(Dry Etcher)篇4.0 前言4.0.1 乾式蝕刻 ...
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