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濕式蝕刻機
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半導體製程技術 - 聯合大學
濕式蝕刻 製程. ▫ 化學容液來溶解晶圓表面的材料. ▫ 副產品是氣體、液體或是可溶解於蝕刻劑的固體. ▫ 三個基本的步驟, 蝕刻、沖洗和乾燥 ...
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